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一块蚀刻硅片

微技术(英语:Micro-technology)包含了微机电感测和控制、驱动元件制程开发技术、微机电系统整合技术、射频(RF MEMS)、光学(Optical MEMS)、生物医学(Bio MEMS)、电脑与周边(Computer Perip-heral MEMS)微机电系统研究[1][2]

参考

  1. ^ 王伯雄等编著. 微纳米测量技术. 北京:清华大学出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9.
  2. ^ 杨继全,朱玉芳编著. 先进制造技术. 北京:化学工业出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2.

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